測力稱重測力傳感器測量技術與品種分類
測力稱重測力傳感器分為箔應變計,微電機系統
箔應變計具有體積較小,多種測量模式和溫度補償功能的優點。
箔應變計生產成本低,安裝方式靈活,既可安裝在平坦、彎曲或有槽的表面,也可安裝在內孔的表面,因而適合各種創新性的設計要求,這是目前應用最為廣泛的選擇。
微電機系統(MEMS)是該領域的最新技術。MEMS為蝕刻成梁柱形、隔膜形或板形的微型硅元件,可在測力元件內發揮測力傳感器的功能。與集成電路的制造工藝類似,MEMS也是通過整體和表面微加工技術制成。
MEMS有集成電路的單晶片上加工數以千計的壓力傳感器元件。
盡管這種測力傳感器能夠以極低的成本大批量生產,但與箔應變計相比,其應用范圍仍很有限。MEMS在醫療領域最常用于那些成本低、產量大(數百萬以上)的一次性產品中,例如:一次性血壓測力傳感器和用于測量球囊導管壓力的血管成形裝置。